装置部門

真空蒸着装置自動化、真空蒸着装置修理、PLCリプレイス、光学膜厚計OM-1&OR-1

・真空蒸着装置自動化

成膜制御用PLCを追加し、パソコンとオリジナル成膜ソフトで通信し自動制御化を行います。

初期メニュー画面　↓

成膜中画面　↓

・真空蒸着装置改造

真空計やAPCの老朽化に伴う更新、RFユニット追加、DP省電力ユニット追加

・真空蒸着装置修理

ハース回転、モニター回転ユニット等修理

・PLCリプレイス

古いPLC（シーケンサー）の更新作業

・光学膜厚計OM-1、OR-1

オリジナル光学膜厚計OM-1と受光機OR-1

・光源ランプ電源LP-1

光学膜厚計用ランプ電源LP-1

・作成実績

フィルターチェンジャーユニット

光学膜厚計チョッパーユニット

ハース回転ユニット

モニタ回転ユニット

イオン銃コントロールユニット

APCユニット

MFCユニット

自動研磨機

ひかり工房　〒259-1306　神奈川県秦野市戸川160

email　hikariworkshop@gmail.com